Посоветуйте, пожалуйста, как припаять кремниевую пластинку диаметром 150мм, толщиной 0,5мм, к медной подложке. У нас при охлаждении пластина трескается из-за различия КТР. Паяем свинцово-оловянным припоем, предварительно на кремниевую пластину напыляем подслой хрома (0,1мкм) и слой меди (1мкм), который затем облуживаем, как и подложку. Затем соединяем облуженными сторонами и нагреваем до расплавления припоя.
Продумываем идею проложить коваровую/инваровую пластину (у чего КТР ближе к КТР кремния?), чтобы взяла на себя термические напряжения, связанные с различием КТР у кремния и меди.